Sensore di pressione MEMS

1. Chì ghjè u sensoru di pressione MEMS

U sensoru di pressione hè un dispositivu cumunimenti utilizatu in a pratica industriale, di solitu cumpostu di elementi sensibili à a pressione (elementi sensittivi elastici, elementi sensibili di spustamentu) è unità di trasfurmazioni di signali, u principiu di travagliu hè di solitu basatu annantu à u cambiamentu di materiali sensibili à a pressione o di pressione causata da deformazione, si pò sentu u signali di prissioni, è pò cunvertisce u signali di prissioni in un signali elettricu di pruduzzioni disponibile secondu certi liggi. Per una misurazione precisa, cuntrollu è surviglianza, cù alta precisione, resistenza à a corrosione è custruzzione compatta, adattata per una varietà di ambienti duri.

Sensori di pressione MEMS, u nome cumpletu: Sensore di pressione di u sistema meccanicu Microelectro, integra a tecnulugia di microelettronica di punta è a tecnulugia di micromachining di precisione. Per mezu di a cumminazione di a struttura micro-meccanica è di u circuitu elettronicu, u chip fattu di materiali semiconduttori tradiziunali, cum'è wafers di siliciu monocristalinu, hè utilizatu cum'è a parte principale per misurà a pressione detectendu a deformazione fisica o l'accumulazione di carica. Dopu hè cunvertitu in signali elettrici per u processu per realizà un monitoraghju sensitivu è cunversione precisa di i cambiamenti di pressione. U so vantaghju core si trova in u so disignu di miniaturizazione, chì dà à i sensori di pressione MEMS prestazioni superiori in termini di precisione, dimensione, velocità di risposta è cunsumu d'energia.

2. Caratteristiche di u sensoru di pressione MEMS

I sensori di pressione MEMS ponu esse cuncepiti è fabbricati cù tecnulugia simili à i circuiti integrati, chì permettenu a produzzione di massa d'alta precisione è di prezzu bassu. Questu apre a porta à l'usu di massa à pocu costu di i sensori MEMS per l'elettronica di cunsumu è i prudutti di cuntrollu di prucessu industriale, facendu u cuntrollu di pressione simplice, amichevule è intelligente.

I sensori di pressione meccanica tradiziunali sò basati nantu à a deformazione di elastomeri metallichi sottu a forza, chì cunverta a deformazione elastica meccanica in output elettricu. Per quessa, ùn ponu esse chjuchi cum'è circuiti integrati cum'è sensori di pressione MEMS, è u so costu hè assai più altu ch'è i sensori di pressione MEMS. Comparatu à i sensori meccanichi tradiziunali, i sensori di pressione MEMS anu una dimensione più chjuca, cù u massimu chì ùn supera micca un centimetru. Paragunatu à a tecnulugia di fabricazione meccanica tradiziunale, u so costu-efficacità hè assai migliuratu.

3. Applicazione di sensori di pressione MEMS

L'industria automobilistica:

U campu di l'automobile hè una di l'applicazioni impurtanti downstream di i sensori MEMS. In u campu di l'automobile, i sensori di pressione MEMS sò largamente utilizati in sistemi di sicurezza (cum'è u monitoraghju di pressione di i sistemi di frenu, u cuntrollu di pressione di l'airbag, è a prutezzione di collisione), u cuntrollu di emissioni (cuntrollu è u monitoraghju di a pressione di gas di emissioni di u mutore), u monitoraghju di i pneumatici, a gestione di u mutore. , è sistemi di sospensjoni per via di a so miniaturizazione, alta precisione è affidabilità. E vitture high-end sò generalmente centinaie di sensori, cumprese 30-50 sensori MEMS, di quale circa 10 sò sensori di pressione MEMS. Questi sensori ponu furnisce dati critichi per aiutà i pruduttori di vitture à ottimisà u rendiment di u mutore, migliurà l'efficienza di carburante è aumentà a sicurezza di guida.

Elettronica di cunsumu:

Cù u sviluppu di l'applicazioni cum'è a navigazione 3D, u monitoraghju di u muvimentu è u monitoraghju di a salute, l'applicazione di sensori di pressione MEMS in l'elettronica di cunsumu hè diventata sempre più cumuna. I sensori di pressione in i dispositi cum'è smartphones, tablette è smartwatches ponu esse aduprati per funzioni cum'è barometri, altimetri è navigazione interna. I sensori di pressione in i dispositi intelligenti ponu ancu monitorà l'eserciziu è l'indicatori di salute cum'è a freccia di u core è l'attività fisica, furnisce dati più precisi. Inoltre, i sensori di pressione MEMS sò largamente usati in campi cum'è droni è mudelli di aerei, chì furnisce infurmazioni d'altitudine è cullaburendu cù sistemi di navigazione per ottene un cuntrollu di volu precisu.

Industria medica:

In l'industria medica, i sensori di pressione MEMS sò largamente usati in parechji dispositi medichi è sistemi di rilevazione. Puderanu esse aduprati per a rilevazione di a pressione di sangue, u cuntrollu di i ventilatori è i respiratori, u monitoraghju di a pressione interna è i sistemi di consegna di droghe. Questi sensori furniscenu misurazioni di pressione precise per aiutà i travagliadori medichi in u diagnosticu è u trattamentu.

L'automatizazione industriale:

In u campu di l'automatizazione industriale, i sensori di pressione MEMS sò usati per monitorà è cuntrullà diversi prucessi industriali, è sò largamente usati in sistemi di tubazioni di liquidu è di gas, monitoraghju di livellu, cuntrollu di pressione è misurazione di flussu. L'alta precisione è affidabilità di sti sensori sò essenziali per assicurà a stabilità è a sicurità di i prucessi industriali.

Aerospaziale:

I sensori di pressione MEMS ponu esse aduprati per a prova di rendiment aerodinamicu di l'aeronave è di i razzi, u monitoraghju di pressione à alta altitudine, a cullizzioni di dati meteorologichi è u cuntrollu di a pressione di l'aria di l'aeronave è l'equipaggiu spaziale. A so miniaturizazione è e so caratteristiche ligere facenu ideali per l'industria aerospaziale per risponde à i requisiti ambientali esigenti.

4. Market size di MEMS pressure sensor

Impulsatu da l'adopzione diffusa in diverse industrie, a dimensione di u mercatu di i sensori di pressione MEMS cresce significativamente. Yole predice chì a dimensione di u mercatu globale di sensori di pressione MEMS crescerà da US $ 1,684 miliardi à US $ 2,215 miliardi in 2019-2026, cù un tassu di crescita cumpostu annu mediu di circa 5%; e spedizioni anu aumentatu da 1,485 miliardi di unità à 2,183 miliardi di unità, cù un ritmu mediu annu di crescita composta di 4,9%. Cù a crescente dumanda di soluzioni di rilevazione di pressione precise è affidabili, u mercatu di sensori di pressione MEMS hè previstu di espansione significativamente in l'anni à vene, dendu parechje opportunità per i pruduttori è i fornitori in questu campu.