Ihe mmetụta nrụgide MEMS

1. Gịnị bụ ihe mmetụta nrụgide MEMS

Ihe mmetụta nrụgide bụ ngwaọrụ a na-ejikarị eme ihe na ụlọ ọrụ mmepụta ihe, nke na-emekarị ihe ndị na-enwe mmetụta nrụgide (ihe na-agbanwe agbanwe, ihe ndị na-emegharị anya) na nkeji nhazi mgbaàmà, ụkpụrụ ọrụ na-adaberekarị na mgbanwe nke ihe mmetụta nrụgide ma ọ bụ nrụgide kpatara nrụrụ. ọ nwere ike na-enwe mmetụta mgbama nrụgide, ma nwee ike ịtụgharị mgbaama nrụgide ka ọ bụrụ akara ngosi eletrik dịnụ dịka iwu ụfọdụ siri dị. Maka nha ziri ezi, njikwa na nleba anya, nke nwere oke dị elu, nguzogide corrosion na ihe owuwu kọmpat, dabara maka ọnọdụ dị iche iche siri ike.

Ihe mmetụta nrụgide MEMS, aha zuru oke: Microelectro mechanical system pressure sensọ, jikọta teknụzụ microelectronics dị mkpụmkpụ na teknụzụ micromachining ziri ezi. Site na nchikota micro-mechanical Ọdịdị na eletrọnịkị sekit, a na-eji mgbawa nke ihe semiconductor ọdịnala dị ka monocrystalline silicon wafers dị ka akụkụ bụ isi iji tụọ nrụgide site na ịchọpụta nrụrụ anụ ahụ ma ọ bụ mkpokọta ụgwọ. A na-atụgharị ya ka ọ bụrụ akara ọkụ eletrik maka nhazi iji ghọta nleba anya dị nro na ngbanwe ziri ezi nke mgbanwe nrụgide. Uru ya bụ isi na-adabere na imewe miniaturization ya, nke na-enye ihe mmetụta nrụgide MEMS nke ọma n'ihe gbasara izi ezi, nha, ọsọ nzaghachi na oriri ume.

2. Njirimara nke ihe mmetụta nrụgide MEMS

Enwere ike imepụta ma rụpụta ihe mmetụta nrụgide MEMS site na iji teknụzụ yiri sekit agbakwunyere, na-eme ka nrụpụta oke dị elu, dị ọnụ ala. Nke a na-emepe ụzọ maka iji ihe mmetụta MEMS dị ọnụ ala maka ngwa eletrọnịkị ndị ahịa na ngwaahịa njikwa usoro mmepụta ihe, na-eme ka njikwa nrụgide dị mfe, enyi na enyi, na ọgụgụ isi.

Ihe mmetụta nrụgide n'ibu omenala na-adabere na nrụrụ nke igwe elastomers n'okpuru ike, nke na-agbanwe nrụrụ igwe na-agbanwe ka ọ bụrụ mmepụta eletrik. Ya mere, ha enweghị ike ịdị ntakịrị dị ka sekit agbakwunyere dị ka ihe mmetụta nrụgide MEMS, ọnụ ahịa ha dịkwa elu karịa ihe mmetụta nrụgide MEMS. Tụnyere ihe mmetụta igwe eji arụ ọrụ ọdịnala, ihe mmetụta nrụgide MEMS nwere nha pere mpe, yana nke kachasị anaghị agafe otu centimita. Tụnyere teknụzụ n'ichepụta igwe ọdịnala, arụmọrụ ọnụ ahịa ha na-abawanye nke ukwuu.

3. Ngwa nke ihe mmetụta nrụgide MEMS

Ụlọ ọrụ ụgbọ ala:

Ogige ụgbọ ala bụ otu n'ime ngwa mgbada dị mkpa nke ihe mmetụta MEMS. N'ime ụgbọ ala ụgbọ ala, a na-eji ihe mmetụta nrụgide MEMS eme ihe na sistemụ nchekwa (dị ka nlekota nrụgide nke sistemu braking, njikwa nrụgide nke airbags, na nchebe nkukota), njikwa ikuku (njikwa nrụnye ikuku gas na nleba anya), nlekota taya, njikwa injin. , na nkwusioru usoro n'ihi na ha miniaturization, elu nkenke, na ntụkwasị obi. Ụgbọ ala ndị dị elu na-enwekarị ọtụtụ narị sensọ, gụnyere 30-50 MEMS sensọ, nke ihe dị ka 10 bụ ihe mmetụta nrụgide MEMS. Ihe mmetụta ndị a nwere ike ịnye data dị oke mkpa iji nyere ndị na-emepụta ụgbọ ala aka ịkwalite arụmọrụ engine, melite arụmọrụ mmanụ ụgbọala, na ịbawanye nchekwa nke ịnya ụgbọ ala.

Eletrọnịkị ndị ahịa:

Site na mmepe nke ngwa dị ka igodo 3D, nlekota ngagharị, na nlekota ahụike, ngwa nke ihe mmetụta nrụgide MEMS na ngwa eletrọnịkị ndị ahịa na-aghọwanye ihe a na-ahụkarị. Enwere ike iji ihe mmetụta nrụgide na ngwaọrụ dị ka smartphones, mbadamba na smartwatches maka ọrụ dị ka barometers, altimeters, na igodo ime ụlọ. Ihe mmetụta nrụgide na ngwaọrụ smart wearable nwekwara ike nyochaa mmega ahụ na ihe ngosi ahụike dịka ọnụọgụ obi na mmega ahụ, na-enye data ziri ezi karị. Na mgbakwunye, a na-eji ihe mmetụta nrụgide MEMS eme ihe n'ọtụtụ ebe dị ka drones na ụdị ụgbọ elu, na-enye ozi elu na imekọ ihe na sistemụ igodo iji nweta njikwa ụgbọ elu.

Ụlọ ọrụ ahụike:

N'ime ụlọ ọrụ ahụike, a na-eji ihe mmetụta nrụgide MEMS eme ihe na ngwaọrụ ahụike dị iche iche na sistemụ nchọpụta. Enwere ike iji ha maka nchọpụta ọbara mgbali elu, njikwa nke ikuku ventilashị na ndị na-eku ume, nlekota nrụgide n'ime ime, na usoro nnyefe ọgwụ. Ihe mmetụta ndị a na-enye nha nrụgide ziri ezi iji nyere ndị ọrụ ahụike aka na nyocha na ọgwụgwọ.

Akpaaka ụlọ ọrụ:

N'ọhịa nke akpaaka ụlọ ọrụ, a na-eji ihe mmetụta nrụgide MEMS na-enyocha ma na-achịkwa usoro mmepụta ihe dị iche iche, a na-ejikwa ha na sistemu mmiri na gas, nlekota ọkwa, njikwa nrụgide, na nha nha. Izi ezi dị elu na ntụkwasị obi nke sensọ ndị a dị mkpa iji hụ na nkwụsi ike na nchekwa nke usoro mmepụta ihe.

Ụgbọ elu:

Enwere ike iji ihe mmetụta nrụgide MEMS mee ihe maka nyocha arụmọrụ ikuku nke ụgbọ elu na rọketi, nlekota nrụgide elu elu, nchịkọta data meteorological, na njikwa ikuku nke ụgbọ elu na akụrụngwa dabeere na mbara igwe. Obere ya na njirimara dị fechaa na-eme ka ọ dị mma maka ụlọ ọrụ ikuku iji zute ihe achọrọ gburugburu ebe obibi.

4. Ọnụ ahịa ahịa nke ihe mmetụta nrụgide MEMS

N'ịbụ onye nkuchi zuru ebe niile na ụlọ ọrụ dị iche iche na-akwalite, nha ahịa nke ihe mmetụta nrụgide MEMS na-eto nke ukwuu. Yole na-ebu amụma na nha ahịa ihe mmetụta nrụgide MEMS zuru ụwa ọnụ ga-eto site na ijeri US $ 1.684 ruo ijeri US $ 2.215 na 2019-2026, yana nkezi uto ngwakọta kwa afọ nke ihe dịka 5%; Mbupu abawanyela site na ijeri 1.485 ruo ijeri 2.183, yana nkezi uto onyinye kwa afọ nke 4.9%. Site na mmụba na-achọwanye maka azịza nhụta nrụgide ziri ezi na ntụkwasị obi, ahịa ihe mmetụta nrụgide MEMS na-atụ anya ịbawanye nke ọma n'afọ ndị na-abịanụ, na-enye ọtụtụ ohere maka ndị nrụpụta na ndị na-ebubata n'ọhịa a.