Sensorê Zexta MEMS

1. Sensorê zexta MEMS çi ye

Sensorê zextê amûrek e ku bi gelemperî di pratîka pîşesaziyê de tê bikar anîn, bi gelemperî ji hêmanên hestiyar ên zextê (hêmanên hestiyar ên elastîk, hêmanên hesas ên jicîhûwarkirinê) û yekîneyên hilberandina nîşanê pêk tê, prensîba xebatê bi gelemperî li ser bingeha guheztina materyalên hestiyar ên zextê an zexta ku ji ber deformasyonê pêk tê, pêk tê. ew dikare nîşana zextê hîs bike, û dikare li gorî hin zagonan sînyala zextê veguherîne nîşanek elektrîkê ya berdest. Ji bo pîvandin, kontrol û çavdêrîkirina rast, bi rastbûna bilind, berxwedana korozyonê û avakirina kompakt, ji bo cûrbecûr hawîrdorên dijwar maqûl e.

Sensorên zextê yên MEMS, navê tevahî: Sensorê zextê ya pergala mekanîkî ya mîkroelektrîkê, teknolojiya mîkroelektronîkî ya pêşkeftî û teknolojiya mîkro-makînekirinê ya rastîn yek dike. Bi tevhevkirina strukturên mîkro-mekanîkî û çerxa elektronîkî, çîpê ku ji materyalên nîvconductor kevneşopî yên wekî waferên silicon monokrîstal hatî çêkirin, wekî beşa sereke tê bikar anîn da ku zextê bi tespîtkirina deformasyona laşî an berhevkirina barkirinê ve were pîvandin. Dûv re ew ji bo pêvajoyê vediguhezîne sînyalên elektrîkê da ku çavdêriya hesas û veguheztina rast a guherînên zextê pêk bîne. Feydeya wê ya bingehîn di sêwirana wê ya piçûkkirinê de ye, ku ji hêla rastbûn, mezinahî, leza bersivê û xerckirina enerjiyê de performansa bilindtir dide sensorên zextê yên MEMS.

2. Taybetmendiyên sensor zext MEMS

Sensorên zextê yên MEMS dikarin bi karanîna teknolojiyên mîna çerxên yekbûyî werin sêwirandin û çêkirin, ku hilberîna girseyî ya rast-bilind, kêm-mesref dike. Ev derî li ber karanîna girseyî ya kêm-mesref a sensorên MEMS-ê ji bo hilberên elektronîkî yên xerîdar û kontrolkirina pêvajoya pîşesaziyê vedike, kontrolkirina zextê hêsan, bikarhêner-heval û aqilmend dike.

Sensorên zexta mekanîkî yên kevneşopî li ser bingeha guheztina elastomerên metal ên di bin zorê de ne, ku deformasyona elastîk a mekanîkî vediguherîne hilberîna elektrîkê. Ji ber vê yekê, ew nikanin bi qasî şebekeyên yekbûyî wekî senzorên zexta MEMS piçûk bin, û lêçûna wan ji senzorên zexta MEMS pirtir e. Li gorî senzorên mekanîkî yên kevneşopî, senzorên zextê yên MEMS xwedan pîvanek piçûktir in, ku herî zêde ji yek santîmetre derbas nabe. Li gorî teknolojiya hilberîna mekanîkî ya kevneşopî, lêçûn-bandoriya wan pir çêtir dibe.

3. Serîlêdana sansorê zexta MEMS

Pîşesaziya otomotîvê:

Qada otomotîvê yek ji serîlêdanên jêrîn ên girîng ên senzorên MEMS ye. Di warê otomotîvê de, senzorên zextê yên MEMS bi berfirehî di pergalên ewlehiyê de têne bikar anîn (wek mînak çavdêriya zextê ya pergalên frenkirinê, kontrolkirina zexta hewayê, û parastina pevçûnê), kontrolkirina belavbûnê (kontrolkirin û çavdêrîkirina zexta gaza gazê ya motorê), çavdêriya tîrê, rêveberiya motorê. , û pergalên sekinandinê ji ber piçûkkirina wan, rastbûna bilind û pêbaweriya wan. Otomobîlên dawiya bilind bi gelemperî bi sedan senzor hene, di nav de 30-50 senzorên MEMS, ku ji wan nêzîkê 10 senzorên zexta MEMS in. Van senzor dikarin daneyên krîtîk peyda bikin da ku ji hilberînerên gerîdeyê re bibin alîkar ku performansa motorê xweştir bikin, karîgeriya sotemeniyê baştir bikin, û ewlehiya ajotinê zêde bikin.

Elektronîkên xerîdar:

Bi pêşkeftina serîlêdanên wekî navîgasyon 3D, çavdêriya tevgerê, û çavdêriya tenduristiyê, serîlêdana senzorên zextê yên MEMS di elektronîkên xerîdar de her ku diçe gelemperî dibe. Sensorên zextê yên di cîhazên wekî têlefon, tablet û demjimêrên biaqil de dikarin ji bo fonksiyonên wekî barometre, altimeter, û navîgasyona hundurîn werin bikar anîn. Sensorên zextê yên di cîhazên kincên biaqil de dikarin werzîşê û nîşanên tenduristiyê yên wekî rêjeya dil û çalakiya laşî jî bişopînin, daneyên rasttir peyda dikin. Wekî din, senzorên zextê MEMS bi berfirehî di warên wekî dron û modelên balafiran de têne bikar anîn, agahdariya bilindbûnê peyda dikin û bi pergalên navîgasyonê re hevkariyê dikin da ku bigihîjin kontrola firînê ya rastîn.

Pîşesaziya bijîşkî:

Di pîşesaziya bijîjkî de, senzorên zexta MEMS bi berfirehî di cîhazên bijîjkî û pergalên tespîtkirinê yên cihêreng de têne bikar anîn. Ew dikarin ji bo tespîtkirina tansiyona xwînê, kontrolkirina ventilator û respiratoran, şopandina zexta hundurîn, û pergalên radestkirina dermanan werin bikar anîn. Van sensoran pîvandinên zextê yên rast peyda dikin da ku di teşhîs û dermankirinê de alîkariya xebatkarên bijîjkî bikin.

Otomasyona pîşesaziyê:

Di warê otomasyona pîşesaziyê de, senzorên zextê yên MEMS ji bo şopandin û kontrolkirina pêvajoyên pîşesaziyê yên cihêreng têne bikar anîn, û ew bi berfirehî di pergalên boriyên şil û gazê, çavdêriya astê, kontrolkirina zextê, ​​û pîvandina herikînê de têne bikar anîn. Rastbûn û pêbaweriya bilind a van senzoran ji bo misogerkirina aramî û ewlehiya pêvajoyên pîşesaziyê pêdivî ye.

Aerospace:

Sensorên zextê yên MEMS dikarin ji bo ceribandina performansa aerodînamîka balafir û roketan, çavdêriya zexta bilindahiyê, berhevkirina daneyên meteorolojîk, û kontrolkirina zexta hewayê ya balafir û alavên cîhê werin bikar anîn. Taybetmendiyên piçûkbûn û sivikbûna wê ji bo pîşesaziya hewayê îdeal e ku hewcedariyên hawîrdorê yên daxwazkar bicîh bîne.

4. Mezinahiya bazarê ya pîvana zexta MEMS

Ji ber pejirandina berbelav di pîşesaziyên cihêreng de, mezinahiya bazarê ya sensorên zexta MEMS bi girîngî mezin dibe. Yole pêşbînî dike ku mezinahiya bazara senzorê ya zexta MEMS ya gerdûnî dê ji 1.684 mîlyar dolarê Amerîkî berbi 2.215 mîlyar dolarê Amerîkî di 2019-2026-an de mezin bibe, bi rêjeya mezinbûna tevliheviya salane ya navînî bi qasî 5%; sewqiyat ji 1,485 mîlyar yekîneyan derket 2,183 mîlyar yekîneyan, bi rêjeya mezinbûna salane ya navînî 4,9%. Bi zêdebûna daxwazê ​​​​ji bo çareseriyên hîskirina zextê yên rast û pêbawer, tê payîn ku bazara senzora zexta MEMS di salên pêş de pir berfireh bibe, di vî warî de ji hilberîner û dabînkeran re gelek derfet peyda dike.