MEMS Pūoko pehanga

1. He aha te pūoko pehanga MEMS

Pressure sensor he taputapu e whakamahia nuitia ana i roto i nga mahi ahumahi, i te nuinga o te waa he mea hanga mai i nga huānga tairongo pehanga (huānga tairongo elastic, huānga tairongo te displacement) me nga waeine tukatuka tohu, ko te tikanga mahi i te nuinga o te waa i runga i te huringa o nga rauemi tairongo pehanga, te pehanga ranei na te deformation, ka rongo i te tohu pehanga, ka taea te huri i te tohu pehanga ki tetahi tohu hiko whakaputa e ai ki etahi ture. Mo te ine tika, te whakahaere me te aro turuki, me te tino tika, te aukati waikura me te hanga kiato, e tika ana mo nga momo taiao kino.

Pūoko pehanga MEMS, te ingoa katoa: Microelectro pūoko pehanga pūnaha miihini, whakauru i te hangarau microelectronics tapahi-mata me te hangarau micromachining tika. Na roto i te whakakotahitanga o te hanganga moroiti-miihini me te ara iahiko hiko, ka whakamahia te maramara i hangaia mai i nga rawa semiconductor tuku iho penei i nga wafers silicon monocrystalline hei waahanga matua ki te ine i te pehanga ma te kite i te huringa tinana, te whakaemi utu ranei. Ka hurihia hei tohu hiko mo te tukatuka kia mohio ai te aro turuki me te huringa tika o nga huringa pehanga. Ko tana painga nui kei roto i tana hoahoa iti, e pai ana te mahi a nga puoro pehanga MEMS i runga i te tika, te rahi, te tere whakautu me te whakapau kaha.

2. Nga ahuatanga o te pukoro pehanga MEMS

Ka taea te hoahoa me te hanga i nga pukoro pehanga MEMS ma te whakamahi i nga hangarau e rite ana ki nga iahiko whakauru, e taea ai te hanga papatipu tino tika, iti te utu. Ko tenei ka whakatuwhera i te tatau ki te whakamahi papatipu iti-utu o nga puoro MEMS mo te hikohiko kaihoko me nga hua whakahaere tukanga ahumahi, ka ngawari te whakahaere pehanga, te ngawari ki te kaiwhakamahi, me te mohio.

Ko nga pukoro pehanga miihini tawhito kei runga i te whakarereketanga o nga elastomers whakarewa i raro i te kaha, e huri ana i te huringa elastic miihini ki te whakaputa hiko. Na reira, kaore e taea e ratou te iti ake i nga waahanga whakauru rite ki nga puoro pehanga MEMS, a he nui ake te utu o te utu i te MEMS. Ka whakatauritea ki nga pukoro miihini tuku iho, he iti ake te rahi o nga pukoro pehanga MEMS, me te nui rawa kia kaua e neke atu i te kotahi henimita. Ka whakatauritea ki nga hangarau hanga miihini tuku iho, ka tino pai ake o raatau utu.

3. Te tono o te pukoro pehanga MEMS

Te ahumahi motuka:

Ko te mara miihini tetahi o nga tono nui o raro o nga puoro MEMS. I roto i te waahi miihini, ka whakamahia nuitia nga pukoro pehanga MEMS i roto i nga punaha haumaru (penei i te aro turuki i te pehanga o nga punaha braking, te mana o te pehanga o nga peeke hau, me te whakamarumaru tukinga), te whakahaere tukunga (te whakahaere i te pehanga hau me te aro turuki), te tirotiro potae, te whakahaere miihini. , me nga punaha whakatārewatanga na runga i te iti, te tino tika, me te pono. Ko nga motuka teitei te nuinga o nga rau o nga pukoro, tae atu ki te 30-50 MEMS pūoko, e tata ana ki te 10 he MEMS pūoko pēhanga. Ka taea e enei puoro te whakarato raraunga nui hei awhina i nga kaihanga motuka ki te arotau i te mahi miihini, te whakapai ake i te pai o te wahie, me te whakanui ake i te haumaru taraiwa.

Hikohiko kaihoko:

Na te whakawhanaketanga o nga tono penei i te whakatere 3D, te aro turuki i nga nekehanga, me te aro turuki i te hauora, kei te kaha haere te whakamahi o nga pukoro pehanga MEMS i roto i te hikohiko kaihoko. Ka taea te whakamahi i nga pukoro pehanga i roto i nga taputapu penei i nga waea atamai, papa, me nga maataki atamai mo nga mahi penei i te barometers, te teitei, me te whakatere o roto. Ka taea hoki e nga pukoro pehanga i roto i nga taputapu kakahu maamaa te aro turuki i nga korikori tinana me nga tohu hauora penei i te reiti o te ngakau me te korikori tinana, e whakarato ana i nga raraunga tika ake. I tua atu, ka whakamahia nuitia nga pukoro pehanga MEMS i roto i nga mara penei i nga drones me nga tauira rererangi, e whakarato ana i nga korero teitei me te mahi tahi me nga punaha whakatere ki te whakatutuki i te mana rere tika.

Ahumahi rongoa:

I roto i te umanga rongoa, kei te whakamahia whanui nga pukoro pehanga MEMS i roto i nga momo rongoa rongoa me nga punaha tirotiro. Ka taea te whakamahi mo te tirotiro i te toto toto, te whakahaere i nga rewharewha me nga respirator, te aro turuki i te pehanga o roto, me nga punaha tuku tarukino. Ka whakaratohia e enei puoro nga inenga pehanga tika hei awhina i nga kaimahi rongoa ki te taatai ​​​​me te maimoatanga.

Aunoa Ahumahi:

I roto i te waahi o te ahumahi ahumahi, ka whakamahia nga puoro pehanga MEMS ki te aroturuki me te whakahaere i nga momo tukanga ahumahi, a ka whakamahia nuitia i roto i nga punaha paipa wai me te hau, te aroturuki taumata, te whakahaere i te pehanga, me te ine rere. Ko te tino tika me te pono o enei puoro he mea nui ki te whakarite i te pumau me te haumaru o nga tukanga ahumahi.

Aerospace:

Ka taea te whakamahi i nga puoro pehanga MEMS mo te whakamatautau i nga mahi aerodynamic o nga waka rererangi me nga toka, te aro turuki i te teitei teitei, te kohinga raraunga meteoro, me te whakahaere i te hau o te rererangi me nga taputapu mokowhiti. Ko ona ahuatanga iti me te maamaa he pai mo te umanga aerospace ki te whakatutuki i nga whakaritenga taiao.

4. Te rahi o te maakete o te puoro pehanga MEMS

I peia e te whanuitanga o te whakatamarikitanga i roto i nga momo umanga, kei te tipu haere te rahi o te maakete o nga pukoro pehanga MEMS. E matapae ana a Yole ka piki te rahi o te maakete pehanga pehanga MEMS o te ao mai i te US $1.684 piriona ki te US $2.215 piriona i te tau 2019-2026, me te toharite o te tipu o te tipu o te tau o te 5%; I piki ake nga kaipuke mai i te 1.485 piriona nga waeine ki te 2.183 piriona nga waahanga, me te pikinga o te tipu o te tau o te tau o te 4.9%. Na te piki haere o te tono mo nga otinga whakamohiotanga pehanga tika me te pono, ko te maakete puoro pehanga MEMS e tika ana kia nui haere i roto i nga tau e heke mai nei, he maha nga whai waahi mo nga kaihanga me nga kaiwhakarato i tenei mara.