MEMS даралт мэдрэгч

1. MEMS даралт мэдрэгч гэж юу вэ

Даралт мэдрэгч нь үйлдвэрлэлийн практикт түгээмэл хэрэглэгддэг төхөөрөмж бөгөөд ихэвчлэн даралт мэдрэмтгий элементүүд (уян мэдрэмтгий элементүүд, шилжилтэд мэдрэмтгий элементүүд) болон дохио боловсруулах хэсгүүдээс бүрддэг бөгөөд ажлын зарчим нь ихэвчлэн даралтанд мэдрэмтгий материалын өөрчлөлт эсвэл хэв гажилтаас үүссэн даралтын өөрчлөлт, энэ нь даралтын дохиог мэдэрч, тодорхой хуулийн дагуу даралтын дохиог гаралтын цахилгаан дохио болгон хувиргаж чаддаг. Нарийвчлалтай хэмжилт, хяналт, хяналтын зориулалттай, өндөр нарийвчлалтай, зэврэлтэнд тэсвэртэй, авсаархан бүтэцтэй, янз бүрийн хатуу ширүүн орчинд тохиромжтой.

MEMS даралт мэдрэгч, бүтэн нэр: Микроэлектро механик системийн даралт мэдрэгч, хамгийн сүүлийн үеийн микроэлектроник технологи, нарийн бичил боловсруулалтын технологийг нэгтгэсэн. Бичил механик бүтэц, электрон хэлхээний хослолоор нэг талст цахиур хавтан зэрэг уламжлалт хагас дамжуулагч материалаар хийсэн чипийг физик хэв гажилт эсвэл цэнэгийн хуримтлалыг илрүүлэх замаар даралтыг хэмжих үндсэн хэсэг болгон ашигладаг. Дараа нь мэдрэгчтэй хяналт, даралтын өөрчлөлтийг үнэн зөв хувиргах зорилгоор боловсруулалтын цахилгаан дохио болгон хувиргадаг. Үүний гол давуу тал нь жижигрүүлсэн загварт оршдог бөгөөд энэ нь MEMS даралт мэдрэгчийг нарийвчлал, хэмжээ, хариу үйлдэл хийх хурд, эрчим хүчний зарцуулалт зэргээрээ дээд зэргийн гүйцэтгэлтэй болгодог.

2. MEMS даралтын мэдрэгчийн шинж чанар

MEMS даралтын мэдрэгчийг нэгдсэн хэлхээтэй төстэй технологиудыг ашиглан зохион бүтээж, үйлдвэрлэж, өндөр нарийвчлалтай, бага өртөгтэй масс үйлдвэрлэх боломжтой. Энэ нь MEMS мэдрэгчийг өргөн хэрэглээний цахилгаан бараа, үйлдвэрлэлийн процессын хяналтын бүтээгдэхүүнд хямд өртөгтэй бөөнөөр нь ашиглах үүд хаалгыг нээж, даралтын хяналтыг энгийн, хэрэглэгчдэд ээлтэй, ухаалаг болгодог.

Уламжлалт механик даралт мэдрэгч нь механик уян хатан хэв гажилтыг цахилгаан гаралт болгон хувиргадаг металл эластомеруудын деформацид суурилдаг. Тиймээс тэдгээр нь MEMS даралтын мэдрэгч шиг нэгдсэн хэлхээ шиг жижиг байж чадахгүй бөгөөд өртөг нь MEMS даралт мэдрэгчээс хамаагүй өндөр байдаг. Уламжлалт механик мэдрэгчтэй харьцуулахад MEMS даралт мэдрэгч нь жижиг хэмжээтэй, дээд тал нь нэг см-ээс ихгүй байна. Уламжлалт механик үйлдвэрлэлийн технологитой харьцуулахад тэдний зардлын үр ашиг эрс сайжирсан.

3. MEMS даралт мэдрэгчийн хэрэглээ

Автомашины үйлдвэр:

Автомашины талбар нь MEMS мэдрэгчийн доод урсгалын чухал хэрэглээний нэг юм. Автомашины салбарт MEMS даралтын мэдрэгчийг аюулгүй байдлын системд (тоормозны системийн даралтын хяналт, аваарын дэрний даралтыг хянах, мөргөлдөхөөс хамгаалах гэх мэт), ялгаралтыг хянах (хөдөлгүүрээс ялгарах хийн даралтыг хянах, хянах), дугуй хянах, хөдөлгүүрийн удирдлагад өргөн ашигладаг. , болон түдгэлзүүлэх систем нь жижигрүүлсэн, өндөр нарийвчлал, найдвартай байдлаас шалтгаалан. Дээд зэрэглэлийн машинууд нь ихэвчлэн 30-50 MEMS мэдрэгч зэрэг олон зуун мэдрэгчтэй байдаг бөгөөд үүнээс 10 орчим нь MEMS даралт мэдрэгч юм. Эдгээр мэдрэгч нь автомашин үйлдвэрлэгчдэд хөдөлгүүрийн ажиллагааг оновчтой болгох, түлшний үр ашгийг дээшлүүлэх, жолоодлогын аюулгүй байдлыг нэмэгдүүлэхэд чухал ач холбогдолтой мэдээллээр хангадаг.

Хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэл:

3D навигаци, хөдөлгөөнийг хянах, эрүүл мэндийг хянах зэрэг програмууд хөгжихийн хэрээр MEMS даралт мэдрэгчийг хэрэглээний цахилгаан хэрэгсэлд ашиглах нь улам бүр түгээмэл болж байна. Ухаалаг утас, таблет, ухаалаг цаг зэрэг төхөөрөмжүүдийн даралт мэдрэгчийг барометр, өндөр хэмжигч, доторх навигаци зэрэг функцүүдэд ашиглаж болно. Ухаалаг зүүдэг төхөөрөмжүүдийн даралт мэдрэгч нь зүрхний цохилт, биеийн хөдөлгөөн зэрэг дасгал, эрүүл мэндийн үзүүлэлтүүдийг хянаж, илүү нарийвчлалтай мэдээлэл өгөх боломжтой. Нэмж дурдахад MEMS даралтын мэдрэгчийг нисгэгчгүй онгоц, нисэх онгоцны загвар зэрэг салбарт өргөнөөр ашиглаж, өндрийн мэдээллийг өгч, нислэгийн нарийн хяналтыг бий болгохын тулд навигацийн системтэй хамтран ажилладаг.

Эмнэлгийн үйлдвэр:

Эмнэлгийн салбарт MEMS даралт мэдрэгчийг янз бүрийн эмнэлгийн төхөөрөмж, илрүүлэх системд өргөн ашигладаг. Эдгээрийг цусны даралтыг тодорхойлох, агааржуулалт, амьсгалын аппаратыг хянах, дотоод даралтыг хянах, эм дамжуулах системд ашиглаж болно. Эдгээр мэдрэгчүүд нь оношилгоо, эмчилгээнд эмнэлгийн ажилчдад туслах даралтын нарийвчлалыг хэмждэг.

Аж үйлдвэрийн автоматжуулалт:

Үйлдвэрлэлийн автоматжуулалтын салбарт MEMS даралтын мэдрэгчийг янз бүрийн үйлдвэрлэлийн процессыг хянах, хянахад ашигладаг бөгөөд шингэн ба хийн хоолойн систем, түвшний хяналт, даралтын хяналт, урсгалын хэмжилт зэрэгт өргөн хэрэглэгддэг. Эдгээр мэдрэгчийн өндөр нарийвчлал, найдвартай байдал нь үйлдвэрлэлийн үйл явцын тогтвортой байдал, аюулгүй байдлыг хангахад зайлшгүй шаардлагатай.

Сансар:

MEMS даралтын мэдрэгчийг нисэх онгоц, пуужингийн аэродинамик гүйцэтгэлийн туршилт, өндөрт даралтын хяналт, цаг уурын мэдээлэл цуглуулах, агаарын хөлөг болон сансрын тоног төхөөрөмжийн агаарын даралтыг хянах зэрэгт ашиглаж болно. Түүний жижигрүүлсэн болон хөнгөн шинж чанар нь сансар судлалын салбарт байгаль орчны эрэлт хэрэгцээг хангахад тохиромжтой.

4. MEMS даралт мэдрэгчийн зах зээлийн хэмжээ

Төрөл бүрийн салбаруудад өргөн тархсанаар MEMS даралт мэдрэгчийн зах зээлийн хэмжээ ихээхэн нэмэгдэж байна. Yole дэлхийн MEMS даралтын мэдрэгчийн зах зээлийн хэмжээ 2019-2026 онд 1.684 тэрбум ам.доллараас 2.215 тэрбум ам.доллар болж, жилийн дундаж нийлмэл өсөлтийн хурд ойролцоогоор 5% байна гэж таамаглаж байна; тээвэрлэлт 1.485 тэрбум нэгжээс 2.183 тэрбум ширхэг болж өссөн бөгөөд жилийн дундаж нийлмэл өсөлтийн хурд 4.9% байна. Нарийвчлалтай, найдвартай даралт мэдрэгчтэй шийдлүүдийн эрэлт хэрэгцээ нэмэгдэж байгаа тул MEMS даралт мэдрэгчийн зах зээл ойрын жилүүдэд ихээхэн өргөжиж, энэ салбарын үйлдвэрлэгчид болон ханган нийлүүлэгчдэд олон боломжийг олгох төлөвтэй байна.