MEMS Pressure sensor

1. O le a le MEMS pressure sensor

Pressure sensor o se masini e masani ona faʻaaogaina i galuega faʻapisinisi, e masani ona aofia ai elemene maaleale (elemene maaleale elastic, elemene maaleale suiga) ma iunite faʻailoga, o le galuega faʻavae e masani lava ona faʻavae i luga o le suiga o le mamafa o mea maaleale poʻo le mamafa e mafua mai i le deformation, e mafai ona lagona le faailo o le mamafa, ma e mafai ona liua le faailo o le mamafa i se faailo eletise eletise e maua e tusa ai ma nisi o tulafono. Mo le fua saʻo, pulea ma le mataʻituina, faʻatasi ai ma le maualuga saʻo, faʻamaʻi faʻamaʻi ma le faʻapipiʻiina o le fausiaina, talafeagai mo le tele o siosiomaga faigata.

Mess pressure sensors, le igoa atoa: Microelectro mechanical system pressure sensor, tu'ufa'atasia fa'atekonolosi fa'atekonolosi fa'atekinolosi ma fa'atekonolosi sa'o micromachining. E ala i le tuʻufaʻatasia o le micro-mechanical structure ma le eletise eletise, o le pulou e faia i mea masani semiconductor e pei o monocrystalline silicon wafers e faʻaaogaina e avea ma vaega autu e fua ai le mamafa e ala i le suʻeina o le faʻaleagaina o le tino poʻo le faʻaputuina o tau. Ona liua lea i faailo eletise mo le gaioiga e iloa ai le mataʻituina maaleale ma le liua saʻo o suiga o le mamafa. O lona aoga autu o loʻo taoto i lana faʻataʻitaʻiga faʻapitoa, lea e tuʻuina atu ai i le MEMS pressure sensors sili atu le faʻatinoga i tulaga o le saʻo, lapoa, tali vave ma le faʻaaogaina o le malosi.

2. Uiga o le masini mamafa MEMS

E mafai ona mamanuina ma gaosia masini faʻapipiʻi MEMS e faʻaaoga ai tekinolosi e tutusa ma fesoʻotaʻiga tuʻufaʻatasia, e mafai ai ona maualuga le saʻo, taugofie le gaosiga o le tele. O lenei mea e tatalaina ai le faitotoa i le taugofieina o le tele o le faʻaogaina o masini MEMS mo tagata faʻatau mea tau eletise ma oloa faʻagasologa o pisinisi, faʻafaigofie le pulea o le mamafa, faʻaoga-faʻaoga, ma le atamai.

O masini faʻainisinia faʻapitoa e faʻavae i luga o le faʻaleagaina o elastomers uʻamea i lalo o le malosi, lea e faʻaliliuina ai le faʻaogaina o masini eletise i le eletise. O le mea lea, e le mafai ona laʻititi e pei o taʻaloga tuʻufaʻatasia e pei o masini faʻapipiʻi MEMS, ma o latou tau e sili atu le maualuga nai lo le faʻamalosi o le MEMS. Pe a faʻatusatusa i masini faʻainisinia masani, o masini faʻapipiʻi MEMS e laʻititi laʻititi, ma le maualuga e le sili atu i le tasi senitimita. Pe a faʻatusatusa i tekinolosi faʻainisinia faʻainisinia masani, o latou tau-lelei sili ona faʻaleleia.

3. Faʻaaogaina o le masini faʻamalosi MEMS

Alamanuia tau taavale:

O le taʻavale taʻavale o se tasi lea o faʻaoga taua i lalo ole masini MEMS. I totonu o fale taʻavale, o loʻo faʻaaogaina tele masini faʻapipiʻi MEMS i faiga saogalemu (e pei o le mataʻituina o le faʻaogaina o faiga faʻapipiʻi, faʻatonuga o taga ea, ma le faʻalavelave faʻafuaseʻi), faʻaogaina o le eletise (faʻaogaina o le kasa ma le mataʻituina), mataʻituina o paʻu, pulega afi. , ma faiga fa'amalolo ona o lo latou fa'aitiitiga, maualuga sa'o, ma fa'amaoni. O taʻavale maualuga e masani ona i ai le fiaselau o masini, e aofia ai le 30-50 MEMS sensors, lea e uiga i le 10 o le MEMS pressure sensors. O nei masini e mafai ona maua ai faʻamatalaga taua e fesoasoani ai i le au gaosi taavale e faʻamalieina le faʻaogaina o le afi, faʻaleleia le lelei o le suauu, ma faʻateleina le saogalemu o le avetaavale.

Fa'atau eletise:

Faʻatasi ai ma le atinaʻeina o talosaga e pei o le 3D navigation, mataʻituina o gaioiga, ma le mataʻituina o le soifua maloloina, o le faʻaogaina o masini faʻapipiʻi MEMS i mea faʻatau eletise ua faʻateleina. E mafai ona fa'aogaina masini fa'amalosi i masini e pei o smartphones, tablets, ma smartwatches mo galuega e pei o barometers, altimeters, ma fa'atautaia totonu. E mafai fo'i ona mata'itūina fa'amalositino ma fa'ailoga o le soifua maloloina e pei o le fatu ma fa'agaioiga fa'aletino, e maua ai fa'amatalaga sa'o a'e o masini fa'amalosi i masini fa'aogaina atamai. E le gata i lea, o masini faʻapipiʻi MEMS e faʻaaogaina lautele i fanua e pei o drones ma faʻataʻitaʻiga vaalele, tuʻuina atu faʻamatalaga maualuga ma galulue faʻatasi ma faiga faʻatautaia e ausia ai le saʻo lelei o le vaʻalele.

Alamanuia faafomai:

I totonu o le falemaʻi faʻafomaʻi, o masini faʻapipiʻi MEMS e faʻaaogaina lautele i masini faʻafomaʻi eseese ma faiga faʻapitoa. E mafai ona faʻaaogaina mo le suʻeina o le toto, faʻatonutonuina o ventilators ma respirators, mataʻituina o le mamafa i totonu, ma le tuʻuina atu o vailaʻau. O nei masini e maua ai fua sa'o o le mamafa e fesoasoani ai i tagata faigaluega foma'i i su'esu'ega ma togafitiga.

Otometi fa'apisinisi:

I totonu o le faʻagasologa o mea tau pisinisi, o loʻo faʻaaogaina masini faʻapipiʻi MEMS e mataʻituina ma pulea ai faiga faʻapisinisi eseese, ma e faʻaaogaina lautele i faiga faʻapipiʻi vai ma kesi, mataʻituina tulaga, pulea o le mamafa, ma le fuaina o le tafe. O le maualuga saʻo ma le faʻamaoni o nei masini e manaʻomia e faʻamautinoa ai le mautu ma le saogalemu o gaioiga faʻapisinisi.

Aerospace:

E mafai ona faʻaogaina masini faʻapipiʻi MEMS mo faʻataʻitaʻiga o le aerodynamic o vaalele ma rockets, mataʻituina o le maualuga o le maualuga, aoina o faʻamaumauga o le meteorological, ma le pulea o le ea o vaalele ma mea faʻaoga avanoa. O lona fa'aitiitiga ma uiga mama e fa'amalieina mo le alamanuia aerospace e fa'amalieina mana'oga tau si'osi'omaga.

4. Tele maketi o le masini faʻamalosi MEMS

O loʻo faʻauluina e le faʻalauteleina o le vaetamaina i pisinisi eseese, o le tele o maketi o masini faʻamalosi MEMS o loʻo faʻatupulaia tele. Ua valoia e Yole o le lalolagi atoa MEMS pressure sensor tele o le a tupu mai le US $ 1.684 piliona i le US $ 2.215 piliona i le 2019-2026, faatasi ai ma le fua faatatau o le tuputupu aʻe faʻaletausaga faʻaletausaga e tusa ma le 5%; O uta na siitia mai le 1.485 piliona iunite i le 2.183 piliona iunite, faatasi ai ma le fua faatatau o le tuputupu aʻe faʻaletausaga o le 4.9%. Faʻatasi ai ma le faʻateleina o le manaʻoga mo le saʻo ma le faʻatuatuaina o le faʻalogoina o faʻamaʻi fofo, o le maketi MEMS pressure sensor e tatau ona faʻalauteleina tele i tausaga a sau, e maua ai le tele o avanoa mo tagata gaosi oloa ma faʻatau oloa i lenei matata.