Sénsor tekanan MEMS

1. Naon sensor tekanan MEMS

Sensor tekanan mangrupikeun alat anu biasa dianggo dina prakték industri, biasana diwangun ku unsur sénsitip tekanan (elemen sénsitip elastis, unsur sénsitip kapindahan) sareng unit pamrosésan sinyal, prinsip kerja biasana dumasar kana parobahan bahan sénsitip tekanan atanapi tekanan anu disababkeun ku deformasi, eta bisa ngarasakeun sinyal tekanan, sarta bisa ngarobah sinyal tekanan kana sinyal listrik kaluaran sadia nurutkeun hukum tangtu. Pikeun pangukuran akurat, kontrol jeung monitoring, kalawan precision tinggi, résistansi korosi jeung konstruksi kompak, cocog pikeun rupa-rupa lingkungan kasar.

Sensor tekanan MEMS, nami lengkep: sensor tekanan sistem mékanis Microelectro, ngahijikeun téknologi microelectronics canggih sareng téknologi micromachining precision. Ngaliwatan kombinasi struktur mikro-mékanis sareng sirkuit éléktronik, chip anu didamel tina bahan semikonduktor tradisional sapertos wafer silikon monocrystalline dianggo salaku bagian utama pikeun ngukur tekanan ku ngadeteksi deformasi fisik atanapi akumulasi muatan. Ieu lajeng dirobah jadi sinyal listrik pikeun ngolah pikeun ngawujudkeun monitoring sénsitip sarta konversi akurat parobahan tekanan. Kauntungannana inti na perenahna di desain miniaturization na, nu mere MEMS sensor tekanan kinerja unggul dina hal akurasi, ukuran, speed respon jeung konsumsi énergi.

2. Ciri sensor tekanan MEMS

Sénsor tekanan MEMS tiasa dirarancang sareng diproduksi nganggo téknologi anu sami sareng sirkuit terpadu, ngamungkinkeun produksi masal presisi tinggi sareng murah. Ieu muka panto pikeun pamakéan massa béaya rendah sensor MEMS pikeun éléktronika konsumén jeung produk kontrol prosés industri, sahingga kontrol tekanan basajan, ramah-pamaké, sarta calakan.

Sensor tekanan mékanis tradisional dumasar kana deformasi elastomer logam dina gaya, anu ngarobah deformasi elastis mékanis kana kaluaran listrik. Ku alatan éta, maranéhna teu bisa jadi leutik salaku sirkuit terpadu sakumaha sensor tekanan MEMS, sarta biaya maranéhanana loba nu leuwih luhur ti sensor tekanan MEMS. Dibandingkeun sareng sénsor mékanis tradisional, sénsor tekanan MEMS gaduh ukuran anu langkung alit, kalayan maksimal henteu langkung ti hiji séntiméter. Dibandingkeun sareng téknologi manufaktur mékanis tradisional, éféktivitas ongkosna ningkat pisan.

3. Aplikasi sensor tekanan MEMS

Industri otomotif:

Widang otomotif mangrupikeun salah sahiji aplikasi hilir anu penting pikeun sénsor MEMS. Dina widang otomotif, sensor tekanan MEMS loba dipaké dina sistem kaamanan (kayaning ngawas tekanan tina sistem ngerem, kontrol tekanan tina airbags, sarta panyalindungan tabrakan), kontrol émisi (engine émisi kontrol tekanan gas sarta ngawaskeun), monitoring ban, manajemén mesin. , sarta sistem gantung alatan miniaturization maranéhanana, precision tinggi, jeung reliabilitas. Mobil high-end biasana gaduh ratusan sensor, kalebet 30-50 sensor MEMS, dimana sakitar 10 mangrupikeun sensor tekanan MEMS. Sensor ieu tiasa nyayogikeun data kritis pikeun ngabantosan pabrik mobil ngaoptimalkeun kinerja mesin, ningkatkeun efisiensi bahan bakar, sareng ningkatkeun kaamanan nyetir.

éléktronika konsumén:

Kalayan ngembangkeun aplikasi sapertos navigasi 3D, ngawaskeun gerak, sareng ngawaskeun kaséhatan, aplikasi sensor tekanan MEMS dina éléktronika konsumen janten langkung umum. Sénsor tekanan dina alat sapertos smartphone, tablet, sareng jam tangan pinter tiasa dianggo pikeun fungsi sapertos barometer, altimeter, sareng navigasi jero ruangan. Sénsor tekanan dina alat anu tiasa dianggo pinter ogé tiasa ngawas latihan sareng indikator kaséhatan sapertos denyut jantung sareng kagiatan fisik, nyayogikeun data anu langkung akurat. Salaku tambahan, sensor tekanan MEMS seueur dianggo dina widang sapertos drone sareng modél pesawat, nyayogikeun inpormasi ketinggian sareng kolaborasi sareng sistem navigasi pikeun ngahontal kontrol penerbangan anu tepat.

Industri médis:

Dina industri médis, sensor tekanan MEMS loba dipaké dina sagala rupa alat médis sarta sistem deteksi. Éta tiasa dianggo pikeun deteksi tekanan darah, kontrol ventilator sareng respirator, ngawaskeun tekanan internal, sareng sistem pangiriman narkoba. Sénsor ieu nyayogikeun pangukuran tekanan anu akurat pikeun ngabantosan pagawé médis dina diagnosis sareng perawatan.

Otomatisasi industri:

Dina widang automation industri, sensor tekanan MEMS dipaké pikeun ngawas jeung ngadalikeun sagala rupa prosés industri, sarta aranjeunna loba dipaké dina sistem piping cair jeung gas, ngawas tingkat, kontrol tekanan, sarta pangukuran aliran. Akurasi anu luhur sareng réliabilitas sénsor ieu penting pikeun mastikeun stabilitas sareng kasalametan prosés industri.

Dirgantara:

Sensor tekanan MEMS tiasa dianggo pikeun nguji kinerja aerodinamis pesawat sareng rokét, ngawaskeun tekanan luhur-luhur, pendataan météorologi, sareng kontrol tekanan hawa pesawat sareng alat-alat dumasar angkasa. Miniaturisasi sareng ciri anu hampang ngajantenkeun cocog pikeun industri aeroangkasa pikeun nyumponan sarat lingkungan anu nungtut.

4. Ukuran pasar sensor tekanan MEMS

Didorong ku nyoko nyebar di sagala rupa industri, ukuran pasar sensor tekanan MEMS tumuwuh sacara signifikan. Yole prédiksi yén ukuran pasar sensor tekanan MEMS global bakal tumuwuh tina US $ 1.684 milyar ka US $ 2.215 milyar dina 2019-2026, kalayan rata-rata laju pertumbuhan sanyawa taunan kira 5%; kiriman naék tina 1,485 miliar unit ka 2,183 miliar unit, kalayan laju pertumbuhan sanyawa taunan rata-rata 4,9%. Kalayan paningkatan paménta pikeun solusi sensing tekanan anu akurat sareng dipercaya, pasar sensor tekanan MEMS diperkirakeun dilegakeun sacara signifikan dina taun-taun anu bakal datang, nyayogikeun seueur kasempetan pikeun produsén sareng supplier dina widang ieu.