MEMS сенсори фишор

1. Санҷандаи фишори MEMS чист

Сенсори фишор дастгоҳест, ки маъмулан дар амалияи саноатӣ истифода мешавад, ки одатан аз унсурҳои ҳассос ба фишор (унсурҳои ҳассос, элементҳои ҳассос ба ҷойивазкунӣ) ва воҳидҳои коркарди сигнал иборат аст, принсипи кор одатан ба тағирёбии маводи ҳассос ба фишор ё фишоре, ки дар натиҷаи деформатсия ба вуҷуд омадааст, асос ёфтааст. он метавонад сигнали фишорро ҳис кунад ва мувофиқи қонунҳои муайян сигнали фишорро ба сигнали баромади барқии мавҷуда табдил диҳад. Барои андозагирии дақиқ, назорат ва мониторинг, бо дақиқии баланд, муқовимат ба зангзанӣ ва сохтмони паймоне, ки барои муҳитҳои гуногуни сахт мувофиқ аст.

Датчикҳои фишори MEMS, номи пурраи: Санҷандаро фишори системаи механикии Microelectro, муттаҳид кардани технологияи муосири микроэлектроника ва технологияи дақиқи коркарди микроэлементҳо. Тавассути омезиши сохтори микро-механикӣ ва схемаи электронӣ, чипи аз маводи анъанавии нимноқилӣ, ба монанди вафли кремнийи монокристаллӣ сохташуда ҳамчун қисми асосӣ барои чен кардани фишор тавассути ошкор кардани деформатсияи ҷисмонӣ ё ҷамъшавии заряд истифода мешавад. Сипас он ба сигналҳои барқӣ барои коркард табдил дода мешавад, то мониторинги ҳассос ва табдили дақиқи тағирёбии фишорро амалӣ созад. Бартарии асосии он дар тарҳи миниатюризатсияи он аст, ки ба сенсорҳои фишори MEMS аз ҷиҳати дақиқӣ, андоза, суръати посух ва масрафи энергия кори олӣ медиҳад.

2. Хусусиятҳои сенсори фишори MEMS

Сенсорҳои фишори MEMS метавонанд бо истифода аз технологияҳои шабеҳи микросхемаҳои интегралӣ тарҳрезӣ ва истеҳсол карда шаванд, ки ба истеҳсоли оммавии дақиқ ва камхарҷ имкон медиҳанд. Ин дарро барои истифодаи камхарҷи оммавии сенсорҳои MEMS барои электроникаи маишӣ ва маҳсулоти назорати равандҳои саноатӣ мекушояд, ки назорати фишорро оддӣ, барои корбар дӯстона ва оқил месозад.

Датчикҳои фишори механикии анъанавӣ ба деформатсияи эластомерҳои металлӣ таҳти фишор асос ёфтаанд, ки деформатсияи чандири механикиро ба қувваи барқ ​​табдил медиҳад. Аз ин рӯ, онҳо наметавонанд мисли микросхемаҳои интегралӣ мисли сенсорҳои фишори MEMS хурд бошанд ва арзиши онҳо аз сенсорҳои фишори MEMS хеле баландтар аст. Дар муқоиса бо сенсорҳои механикии анъанавӣ, сенсорҳои фишори MEMS андозаи хурдтар доранд, ки ҳадди аксар аз як сантиметр зиёд нест. Дар муқоиса бо технологияи анъанавии истеҳсоли механикӣ, самаранокии онҳо хеле беҳтар шудааст.

3. Татбиқи сенсори фишори MEMS

Саноати автомобилсозӣ:

Соҳаи автомобилсозӣ яке аз барномаҳои муҳими поёнии сенсорҳои MEMS мебошад. Дар соҳаи автомобилсозӣ, сенсорҳои фишори MEMS дар системаҳои бехатарӣ (ба монанди мониторинги фишори системаҳои боздорӣ, назорати фишори болишти бехатарӣ ва муҳофизат аз бархӯрд), назорати партовҳо (назорат ва мониторинги фишори гази муҳаррик), мониторинги шина, идоракунии муҳаррик васеъ истифода мешаванд. , ва системаҳои таваққуф аз сабаби миниатюризатсия, дақиқии баланд ва эътимоднокии онҳо. Мошинҳои баландсифат одатан садҳо сенсорҳо доранд, аз ҷумла 30-50 сенсорҳои MEMS, ки тақрибан 10 сенсорҳои фишори MEMS мебошанд. Ин сенсорҳо метавонанд маълумоти муҳимро пешниҳод кунанд, то ба истеҳсолкунандагони мошинҳо беҳтар кардани кори муҳаррик, беҳтар кардани самаранокии сӯзишворӣ ва баланд бардоштани бехатарии ронандагӣ кӯмак расонанд.

Электроникаи маишӣ:

Бо таҳияи барномаҳо ба монанди новбари 3D, мониторинги ҳаракат ва мониторинги саломатӣ, татбиқи сенсорҳои фишори MEMS дар электроникаи маишӣ бештар маъмул мегардад. Сенсорҳои фишор дар дастгоҳҳо, аз қабили смартфонҳо, планшетҳо ва соатҳои интеллектуалӣ метавонанд барои вазифаҳо ба монанди барометрҳо, баландметрҳо ва навигати дарунӣ истифода шаванд. Сенсорҳои фишор дар дастгоҳҳои интеллектуалии пӯшида метавонанд инчунин нишондиҳандаҳои машқ ва саломатиро, аз қабили суръати дил ва фаъолияти ҷисмонӣ назорат кунанд ва маълумоти дақиқтар пешниҳод кунанд. Илова бар ин, сенсорҳои фишори MEMS дар чунин соҳаҳо, ба монанди дронҳо ва моделҳои ҳавопаймоҳо, ба таври васеъ истифода мешаванд, маълумотро дар бораи баландӣ таъмин мекунанд ва бо системаҳои навигатсионӣ барои ноил шудан ба назорати дақиқи парвоз ҳамкорӣ мекунанд.

Саноати тиббӣ:

Дар соҳаи тиб, сенсорҳои фишори MEMS дар дастгоҳҳои гуногуни тиббӣ ва системаҳои муайянкунӣ васеъ истифода мешаванд. Онҳо метавонанд барои муайян кардани фишори хун, назорати вентиляторҳо ва респираторҳо, мониторинги фишори дохилӣ ва системаҳои интиқоли маводи мухаддир истифода шаванд. Ин сенсорҳо андозагирии дақиқи фишорро барои кӯмак ба кормандони тиб дар ташхис ва табобат таъмин мекунанд.

Автоматикунонии саноатӣ:

Дар соҳаи автоматизатсияи саноатӣ сенсорҳои фишори MEMS барои назорат ва назорати равандҳои гуногуни саноатӣ истифода мешаванд ва онҳо дар системаҳои қубурҳои моеъ ва газ, мониторинги сатҳ, назорати фишор ва ченкунии ҷараён васеъ истифода мешаванд. Дақиқӣ ва эътимоднокии баланди ин сенсорҳо барои таъмини устуворӣ ва бехатарии равандҳои саноатӣ муҳим аст.

Ҳавопаймоӣ:

Сенсорҳои фишори MEMS метавонанд барои санҷиши кори аэродинамикии ҳавопаймоҳо ва мушакҳо, мониторинги фишор дар баландӣ, ҷамъоварии маълумоти метеорологӣ ва назорати фишори ҳаво дар ҳавопаймо ва таҷҳизоти кайҳонӣ истифода шаванд. Миниатюризатсия ва хусусиятҳои сабуки он онро барои саноати аэрокосмосӣ барои қонеъ кардани талаботи экологӣ беҳтарин месозад.

4. Андозаи бозори сенсори фишори MEMS

Бо қабули васеъ дар соҳаҳои мухталиф, андозаи бозори сенсорҳои фишори MEMS ба таври назаррас афзоиш меёбад. Йоле пешгӯӣ мекунад, ки ҳаҷми бозори ҷаҳонии сенсорҳои фишори MEMS дар солҳои 2019-2026 аз 1.684 миллиард доллар то 2.215 миллиард доллар афзоиш хоҳад ёфт, ки суръати миёнаи солонаи афзоиши мураккаб тақрибан 5% -ро ташкил медиҳад; интиқол аз 1,485 миллиард адад ба 2,183 миллиард адад афзоиш ёфт, ки суръати миёнаи солонаи афзоиши мураккаб 4,9 фоизро ташкил дод. Бо афзоиши талабот ба қарорҳои дақиқ ва боэътимоди ҳассосияти фишор, интизор меравад, ки бозори сенсори фишори MEMS дар солҳои оянда ба таври назаррас васеъ шавад ва барои истеҳсолкунандагон ва таъминкунандагон дар ин соҳа имкониятҳои зиёде фароҳам меорад.