MEMS Ipa sensọ

1. Kini sensọ titẹ MEMS

Sensọ titẹ jẹ ẹrọ ti a lo nigbagbogbo ni adaṣe ile-iṣẹ, nigbagbogbo ti o ni awọn eroja ifura titẹ (awọn eroja ifura rirọ, awọn eroja ifapapo) ati awọn ẹya sisẹ ifihan agbara, ilana ṣiṣe nigbagbogbo da lori iyipada ti awọn ohun elo ifura titẹ tabi titẹ ti o fa nipasẹ abuku, o le rilara ifihan agbara titẹ, ati pe o le ṣe iyipada ifihan agbara titẹ sinu ifihan itanna ti o wa ni ibamu si awọn ofin kan. Fun wiwọn deede, iṣakoso ati ibojuwo, pẹlu konge giga, resistance ipata ati ikole iwapọ, o dara fun ọpọlọpọ awọn agbegbe lile.

Awọn sensosi titẹ MEMS, orukọ kikun: sensọ titẹ ẹrọ ẹrọ Microelectro, ṣepọ imọ-ẹrọ microelectronics gige-eti ati imọ-ẹrọ micromachining deede. Nipasẹ apapo ti ọna ẹrọ micro-mechanical ati Circuit itanna, chirún ti a ṣe ti awọn ohun elo semikondokito ibile gẹgẹbi awọn wafers silikoni monocrystalline ni a lo bi apakan akọkọ lati wiwọn titẹ nipasẹ wiwa abuku ti ara tabi ikojọpọ idiyele. Lẹhinna o yipada si awọn ifihan agbara itanna fun sisẹ lati mọ ibojuwo ifura ati iyipada deede ti awọn iyipada titẹ. Anfani akọkọ rẹ wa ni apẹrẹ miniaturization rẹ, eyiti o fun awọn sensọ titẹ MEMS ti o ga julọ ni awọn ofin ti deede, iwọn, iyara esi ati agbara agbara.

2. Awọn ẹya ara ẹrọ ti MEMS titẹ sensọ

Awọn sensosi titẹ MEMS le ṣe apẹrẹ ati iṣelọpọ nipa lilo awọn imọ-ẹrọ ti o jọra si awọn iyika iṣọpọ, ti n mu iwọn-giga, iṣelọpọ idiyele idiyele kekere. Eyi ṣii ilẹkun si lilo iye owo kekere ti awọn sensọ MEMS fun ẹrọ itanna olumulo ati awọn ọja iṣakoso ilana ile-iṣẹ, ṣiṣe iṣakoso titẹ rọrun, ore-olumulo, ati oye.

Awọn sensọ titẹ ẹrọ adaṣe ti aṣa da lori abuku ti awọn elastomers irin labẹ agbara, eyiti o ṣe iyipada abuku rirọ ẹrọ sinu iṣelọpọ itanna. Nitorinaa, wọn ko le jẹ kekere bi awọn iyika iṣọpọ bi awọn sensọ titẹ MEMS, ati pe idiyele wọn ga pupọ ju awọn sensọ titẹ MEMS lọ. Ti a ṣe afiwe si awọn sensọ ẹrọ ti aṣa, awọn sensọ titẹ MEMS ni iwọn ti o kere ju, pẹlu iwọn ti o pọju ko kọja sẹntimita kan. Ti a ṣe afiwe si imọ-ẹrọ iṣelọpọ iṣelọpọ ti aṣa, imunadoko iye owo wọn ni ilọsiwaju pupọ.

3. Ohun elo ti MEMS titẹ sensọ

Ile-iṣẹ ọkọ ayọkẹlẹ:

Aaye ọkọ ayọkẹlẹ jẹ ọkan ninu awọn ohun elo isale pataki ti awọn sensọ MEMS. Ni aaye adaṣe, awọn sensọ titẹ MEMS ni lilo pupọ ni awọn eto aabo (gẹgẹbi ibojuwo titẹ ti awọn eto braking, iṣakoso titẹ ti awọn apo afẹfẹ, ati aabo ijamba), iṣakoso itujade (iṣakoso itujade gaasi ati ibojuwo), ibojuwo taya taya, iṣakoso ẹrọ , ati awọn eto idadoro nitori miniaturization wọn, iṣedede giga, ati igbẹkẹle. Awọn ọkọ ayọkẹlẹ ti o ga julọ nigbagbogbo ni awọn ọgọọgọrun awọn sensọ, pẹlu awọn sensọ MEMS 30-50, eyiti o jẹ nipa 10 awọn sensosi titẹ MEMS. Awọn sensọ wọnyi le pese data to ṣe pataki lati ṣe iranlọwọ fun awọn aṣelọpọ ọkọ ayọkẹlẹ lati mu iṣẹ ṣiṣe engine pọ si, mu iṣẹ ṣiṣe epo dara, ati alekun aabo awakọ.

Awọn ẹrọ itanna onibara:

Pẹlu idagbasoke awọn ohun elo bii lilọ kiri 3D, ibojuwo iṣipopada, ati ibojuwo ilera, ohun elo ti awọn sensosi titẹ MEMS ni ẹrọ itanna olumulo n di pupọ sii. Awọn sensọ titẹ ninu awọn ẹrọ bii awọn fonutologbolori, awọn tabulẹti, ati awọn smartwatches le ṣee lo fun awọn iṣẹ bii barometers, altimeters, ati lilọ kiri inu ile. Awọn sensosi titẹ ninu awọn ẹrọ wearable smati tun le ṣe atẹle adaṣe ati awọn itọkasi ilera gẹgẹbi oṣuwọn ọkan ati iṣẹ ṣiṣe ti ara, pese data deede diẹ sii. Ni afikun, awọn sensọ titẹ MEMS ni lilo pupọ ni awọn aaye bii awọn drones ati awọn awoṣe ọkọ ofurufu, pese alaye giga ati ifowosowopo pẹlu awọn eto lilọ kiri lati ṣaṣeyọri iṣakoso ọkọ ofurufu deede.

Ile-iṣẹ iṣoogun:

Ninu ile-iṣẹ iṣoogun, awọn sensọ titẹ MEMS ni lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ẹrọ iṣoogun ati awọn eto wiwa. Wọn le ṣee lo fun wiwa titẹ ẹjẹ, iṣakoso ti awọn ẹrọ atẹgun ati awọn atẹgun, ibojuwo titẹ inu inu, ati awọn eto ifijiṣẹ oogun. Awọn sensọ wọnyi pese awọn wiwọn titẹ deede lati ṣe iranlọwọ fun awọn oṣiṣẹ iṣoogun ni ayẹwo ati itọju.

Adaṣiṣẹ ile-iṣẹ:

Ni aaye adaṣe adaṣe ile-iṣẹ, awọn sensosi titẹ MEMS ni a lo lati ṣe atẹle ati ṣakoso ọpọlọpọ awọn ilana ile-iṣẹ, ati pe wọn lo pupọ ni omi ati awọn eto fifin gaasi, ibojuwo ipele, iṣakoso titẹ, ati wiwọn sisan. Iṣe deede ati igbẹkẹle ti awọn sensọ wọnyi jẹ pataki lati rii daju iduroṣinṣin ati ailewu ti awọn ilana ile-iṣẹ.

Ofurufu:

Awọn sensọ titẹ MEMS le ṣee lo fun idanwo iṣẹ aerodynamic ti awọn ọkọ ofurufu ati awọn rockets, ibojuwo titẹ giga giga, gbigba data meteorological, ati iṣakoso titẹ afẹfẹ ti ọkọ ofurufu ati ohun elo orisun aaye. Miniaturization rẹ ati awọn abuda iwuwo fẹẹrẹ jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun ile-iṣẹ afẹfẹ lati pade awọn ibeere ayika ti o nbeere.

4. Iwọn ọja ti sensọ titẹ MEMS

Ni idari nipasẹ isọdọmọ ni ibigbogbo ni awọn ile-iṣẹ lọpọlọpọ, iwọn ọja ti awọn sensọ titẹ MEMS n dagba ni pataki. Yole sọtẹlẹ pe iwọn ọja sensọ titẹ agbara MEMS agbaye yoo dagba lati US $ 1.684 bilionu si US $ 2.215 bilionu ni ọdun 2019-2026, pẹlu aropin idagba idapọ lododun ti isunmọ 5%; awọn gbigbe pọ lati 1.485 bilionu sipo si 2.183 bilionu sipo, pẹlu aropin idagbasoke yellow lododun oṣuwọn ti 4.9%. Pẹlu ibeere ti n pọ si fun deede ati awọn solusan oye titẹ igbẹkẹle, ọja sensọ titẹ MEMS ni a nireti lati faagun ni pataki ni awọn ọdun to n bọ, pese ọpọlọpọ awọn aye fun awọn aṣelọpọ ati awọn olupese ni aaye yii.